在半導(dǎo)體芯片制造的精密世界中，特種工藝氣體的精準(zhǔn)控制直接決定著芯片的性能與良品率。長期以來，這一關(guān)鍵領(lǐng)域被國際品牌所壟斷，如今，以陜西易度智能科技有限公司為代表的國產(chǎn)創(chuàng)新力量，通過自主研發(fā)的層流壓差式質(zhì)量流量計與質(zhì)量流量控制器，正在打破這一局面，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。

精密掌控半導(dǎo)體制造的“氣體脈搏"

在半導(dǎo)體制造過程中，擴散、刻蝕、化學(xué)氣相沉積等關(guān)鍵工藝都離不開特種氣體的精準(zhǔn)控制。易度智能針對半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求，專門建立了百級潔凈間生產(chǎn)線，確保產(chǎn)品能夠滿足晶圓制造對潔凈度的嚴(yán)苛要求。

基于層流壓差原理，通過內(nèi)置壓力與溫度傳感器實現(xiàn)動態(tài)補償，有效解決了半導(dǎo)體制造中混合氣體控制、快速響應(yīng)和高精度要求的三大技術(shù)痛點。其無需轉(zhuǎn)換系數(shù)即可實現(xiàn)任意比例混合氣體切換的特性，顯著簡化了半導(dǎo)體工藝氣體切換的操作流程，提升了生產(chǎn)效率。

高性能滿足多元應(yīng)用場景

除了半導(dǎo)體制造，層流壓差式質(zhì)量流量計在多個對精度要求很高的領(lǐng)域都展現(xiàn)出高性能。

在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，特別是大氣污染物采樣中，流量準(zhǔn)確性至關(guān)重要。便攜式層流質(zhì)量流量計可直接測量體積流量，匹配大氣顆粒物采樣器的特定需求。它通過了中國環(huán)境監(jiān)測總站長達數(shù)月的嚴(yán)格穩(wěn)定性測試，其二十四小時流量漂移遠優(yōu)于國家標(biāo)準(zhǔn)限值，保障了PM2.5、二氧化硫等痕量污染物采樣數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確可靠。

在新能源領(lǐng)域，如燃料電池的氫氣流量控制、工業(yè)廢氣排放監(jiān)測和碳捕集系統(tǒng)中，工作環(huán)境常伴有高溫、腐蝕性氣體等苛刻條件。采用耐腐蝕材質(zhì)流道，能長期耐受酸性氣體，環(huán)境適應(yīng)性強，能在寬溫域和壓力環(huán)境下保持穩(wěn)定運行。

在生物制藥行業(yè)，需要在無菌環(huán)境下進行氣體流量控制，并常常涉及混合氣體的精確配比。內(nèi)置超過七十種氣體數(shù)據(jù)庫，支持一鍵切換氣體介質(zhì)或自定義編輯混合氣體比例，無需人工換算系數(shù)。這不僅避免了污染風(fēng)險，還簡化了操作流程，非常適用于生物反應(yīng)器供氣、滅菌工藝中的蒸汽流量監(jiān)控，以及呼吸機、麻醉機等醫(yī)療設(shè)備的氣體輸送系統(tǒng)。

技術(shù)優(yōu)勢奠定國產(chǎn)替代基礎(chǔ)

層流壓差式質(zhì)量流量計的成功研發(fā)和應(yīng)用，標(biāo)志著我國在氣體測控設(shè)備領(lǐng)域取得了重大突破。其顯著優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

高精度與穩(wěn)定性是核心優(yōu)勢。精度可達百分之零點五讀數(shù)，重復(fù)性優(yōu)于百分之零點一滿量程。其長期穩(wěn)定性佳，保證了在不同工況下數(shù)據(jù)的可靠性和一致性。

快速響應(yīng)與高效便捷的特點顯著。毫秒級響應(yīng)速度，無需預(yù)熱，開機即用，極大地提升了工作效率，適合快速啟動和需求多變的應(yīng)用場景。

環(huán)境適應(yīng)性強表現(xiàn)出色。能在寬溫范圍、不同壓力及高原低壓等嚴(yán)苛條件下穩(wěn)定運行，耐腐蝕設(shè)計適應(yīng)多種復(fù)雜氣體介質(zhì)。

智能化與多功能性提升用戶體驗。內(nèi)置豐富氣體數(shù)據(jù)庫、支持混合氣、觸屏操作、數(shù)據(jù)通訊等功能，大大簡化了操作流程，便于系統(tǒng)集成。

便攜設(shè)計與國產(chǎn)化價值帶來額外優(yōu)勢。便攜式型號體積小、重量輕、續(xù)航長，適合現(xiàn)場作業(yè)。其國產(chǎn)化身份打破了國際壟斷，提供了高性價比的選擇，售后服務(wù)和供應(yīng)鏈保障更及時可靠。

重塑中國半導(dǎo)體裝備的“呼吸系統(tǒng)"

作為國內(nèi)極少數(shù)掌握層流壓差式核心技術(shù)的企業(yè)，易度智能的研發(fā)團隊以西北工業(yè)大學(xué)數(shù)名博士后、博士為核心，依托航空宇航專業(yè)背景，在微流量測控領(lǐng)域擁有深厚技術(shù)積累。目前已取得多項創(chuàng)新型技術(shù)和幾十項國內(nèi)外認(rèn)證，并參與了國家層流流量計檢定規(guī)程等標(biāo)準(zhǔn)的制定。

在國產(chǎn)替代趨勢下，在半導(dǎo)體制造、燃料電池測試等領(lǐng)域的表現(xiàn)尤為突出。產(chǎn)品已在多家國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商的機臺中實現(xiàn)批量應(yīng)用，助力國產(chǎn)光刻機、刻蝕機等核心裝備實現(xiàn)流量控制部件的本土化替代。

隨著國產(chǎn)化進程加速，國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體市場替代需求持續(xù)提升。預(yù)計到未來幾年，國產(chǎn)化率將大幅提升，這是行業(yè)對國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體領(lǐng)域滲透率的預(yù)期。

精密氣體流控領(lǐng)域的競賽從未停止，但這一次，中國創(chuàng)新者已躋身第一梯隊。他們的目標(biāo)明確：將產(chǎn)品穩(wěn)定性做到更好，讓中國半導(dǎo)體設(shè)備的每一次“呼吸"都精準(zhǔn)無誤。隨著我國雙碳戰(zhàn)略的深化和制造業(yè)的持續(xù)升級，這樣的國產(chǎn)創(chuàng)新技術(shù)將為構(gòu)建自主可控的產(chǎn)業(yè)鏈提供堅實可靠的底層支撐。