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在當(dāng)代半導(dǎo)體工業(yè)中，無水氟化氫作為一種高效的干式蝕刻劑與清潔氣體，正發(fā)揮著不可替代的作用。隨著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，對(duì)工藝精度的要求日益嚴(yán)苛，AHF在晶圓沉積薄膜蝕刻與機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)硅類殘留清潔中的應(yīng)用愈發(fā)重要。而在這個(gè)過程中，易度層流壓差式質(zhì)量流量控制器的精密控制能力，成為確保工藝穩(wěn)定性和重復(fù)性的核心技術(shù)保障。在晶圓制造過程中，薄膜沉積后的圖形化蝕刻是決定電路性能的關(guān)鍵步驟。無水氟化氫因其優(yōu)異的蝕刻選擇性和反應(yīng)效率，被廣泛應(yīng)用于多種介質(zhì)膜的精細(xì)加工。在先進(jìn)制程中，工程師們通...

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)是制備各種薄膜材料的關(guān)鍵工藝。這一過程對(duì)壓力控制提出了高要求，任何微小的壓力波動(dòng)都可能直接影響薄膜厚度均勻性、致密性和結(jié)構(gòu)完整性。陜西易度智能科技有限公司自主研發(fā)的層流壓差式壓力流量控制器，正是針對(duì)這一精密控制需求而設(shè)計(jì)的創(chuàng)新解決方案。LPCVD工藝對(duì)壓力控制的嚴(yán)苛要求LPCVD工藝需要在低于大氣壓的環(huán)境中進(jìn)行的特性，使得壓力成為影響反應(yīng)氣體傳輸、表面反應(yīng)速率和薄膜生長(zhǎng)質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)。傳統(tǒng)的壓力控制方法往往難以同時(shí)滿足穩(wěn)定性、響應(yīng)速度和精...

在半導(dǎo)體芯片制造的精密世界中，特種工藝氣體的精準(zhǔn)控制直接決定著芯片的性能與良品率。長(zhǎng)期以來，這一關(guān)鍵領(lǐng)域被國(guó)際品牌所壟斷，如今，以陜西易度智能科技有限公司為代表的國(guó)產(chǎn)創(chuàng)新力量，通過自主研發(fā)的層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器，正在打破這一局面，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。精密掌控半導(dǎo)體制造的“氣體脈搏”在半導(dǎo)體制造過程中，擴(kuò)散、刻蝕、化學(xué)氣相沉積等關(guān)鍵工藝都離不開特種氣體的精準(zhǔn)控制。易度智能針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求，專門建立了百級(jí)潔凈間生產(chǎn)線，確保產(chǎn)品能夠...

在石油化工這一高度復(fù)雜且對(duì)精確度要求高的行業(yè)中，流量的準(zhǔn)確測(cè)量直接關(guān)系到生產(chǎn)安全、能源效率與經(jīng)濟(jì)效益。傳統(tǒng)的流量測(cè)量技術(shù)往往難以兼顧高精度與低干擾，尤其是在復(fù)雜多變的現(xiàn)場(chǎng)工況下。近年來，基于層流壓差原理的便攜式質(zhì)量流量計(jì)，特別是易度P系列產(chǎn)品，以其高性能表現(xiàn)，正在為該領(lǐng)域的流量監(jiān)測(cè)帶來全新的解決方案。層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的核心優(yōu)勢(shì)在于其能夠直接測(cè)量流體的質(zhì)量流量，無需進(jìn)行溫度或壓力的補(bǔ)償計(jì)算，這極大簡(jiǎn)化了操作流程并提高了數(shù)據(jù)的可靠性。在石油化工廠中，天然氣作為一種重要的能源與...

在現(xiàn)代工業(yè)制造與科研領(lǐng)域，密封性測(cè)試是保障產(chǎn)品質(zhì)量與安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。無論是醫(yī)療用品中的輸液袋和試劑瓶、燃料電池中的電池包與膜電極，還是各類電子產(chǎn)品的精密外殼，其密封性能的可靠性都直接關(guān)系到最終產(chǎn)品的功能與壽命。層流壓差式質(zhì)量流量控制器憑借其技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在這些應(yīng)用場(chǎng)景中展現(xiàn)出超高的性能，成為高精度密封檢測(cè)的核心設(shè)備。在醫(yī)療用品制造行業(yè)中，輸液袋和試劑瓶的密封完整性至關(guān)重要。這些容器一旦發(fā)生微泄漏，不僅會(huì)導(dǎo)致藥液變質(zhì)，還可能引發(fā)細(xì)菌污染，直接危及患者安全。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法往往無法識(shí)別...

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，清洗工藝是確保芯片性能和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）作為精密流體控制的核心設(shè)備，在清洗過程中發(fā)揮著不可替代的作用。層流壓差式質(zhì)量流量控制器憑借其高精度和穩(wěn)定性，成為半導(dǎo)體清洗設(shè)備的技術(shù)方案。半導(dǎo)體清洗設(shè)備需去除晶圓表面的微粒、有機(jī)物和金屬雜質(zhì)，以避免后續(xù)工藝中的缺陷。等離子清洗是常用技術(shù)，通過激發(fā)工藝氣體產(chǎn)生等離子體，實(shí)現(xiàn)表面清潔和改性。這一過程要求氣體流量精確穩(wěn)定，層流壓差式質(zhì)量流量控制器通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)氣體流量，確保等離子體均勻...

在高校、實(shí)驗(yàn)室、科研院所和各工業(yè)研發(fā)測(cè)試臺(tái)等前沿科研領(lǐng)域中，流體的流量測(cè)量與控制往往是決定成敗的關(guān)鍵。傳統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)在實(shí)際應(yīng)用中存在幾項(xiàng)明顯弊端。通常需要較長(zhǎng)的預(yù)熱時(shí)間以達(dá)到熱平衡狀態(tài)，無法實(shí)現(xiàn)開機(jī)即用，工作效率較低。其次，傳統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，其核心傳感元件易受環(huán)境溫度變化及氣體特性影響，導(dǎo)致顯著的零點(diǎn)漂移和量程漂移現(xiàn)象，需要頻繁進(jìn)行校準(zhǔn)維護(hù)，售后維護(hù)成本高。更突出的是，其測(cè)量穩(wěn)定性相對(duì)較差，長(zhǎng)期使用過程中容易出現(xiàn)測(cè)量值波動(dòng)，特別是應(yīng)對(duì)壓力、溫度變化時(shí)表現(xiàn)更為敏感，...

一、易度智能EC400系列核心優(yōu)勢(shì)高精度與高重復(fù)性精度：±0.5%設(shè)定值精度，滿足半導(dǎo)體、生物制藥等領(lǐng)域?qū)α髁靠刂频膰?yán)苛要求。重復(fù)性：±0.1%F.S.，確保長(zhǎng)期使用中數(shù)據(jù)穩(wěn)定性，減少校準(zhǔn)頻率。響應(yīng)時(shí)間：寬溫度與壓力范圍介質(zhì)溫度：-20℃~60℃，適應(yīng)低溫制冷或高溫加熱場(chǎng)景。環(huán)境溫度：-20℃~50℃，覆蓋工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)復(fù)雜環(huán)境。工作壓力：0~1MPa，耐壓1.5MPa，支持高壓氣體輸送系統(tǒng)。多氣體兼容性內(nèi)置70+種氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，包括N?、O?、Ar、H?...