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觸摸屏氣體流量控制器是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償,可根據(jù)需要進行流量設定,自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值??梢缘乜刂茪怏w的給定量,這對很多工藝過程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質量流量,輸出質量流量信號,不用其他設備??梢缘臏y量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。流量控制器功能:①流量設定:在閥控狀態(tài)下,以F.S滿量...
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氣體質量流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表,是現(xiàn)代電子設備工藝氣體流量控制的不可少的控制單元,它的原理和應用質量流量控制器用于對各種氣體的質量流量進行精密測量和控制,大量用于電子工藝設備(如擴散、氧化、外延、CVD.等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設備、光導纖維制造中。它通常由流量傳感器、流量調節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質量流量,具有溫度、壓力囪動補...
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1:流量術語體積流量:也叫工況流量,即單位時間內實時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為:ml/min和L/min。標況流量:通過溫度、壓力補償后得到的體積流量。標況一般定義(1)壓力:1個大氣壓(101.325KPa)(2)溫度:0℃/15℃/20℃/25℃,具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa),單位一般為:SCCM和SLPM。質量流量:單位時間內流體流過管道橫截面的質量。易度質量流量控制器測量出的是標況流量,需要計...
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氣體質量流量計與質量流量控制器是指主要適用小微流量(從0.000001m3/小時到300m3/小時,對應管徑從直徑3mm到65mm)氣體測量和控制的傳感器和自動化設備。按原理分類主要有兩種:1、層流壓差原理的氣體質量流量計與質量流量控制器;2、熱式原理的氣體質量流量計與氣體質量流量控制器。層流壓差原理圖層流壓差原理的質量流量計和流量控制器,因其原理特點,只需檢測到氣體壓差、壓力和溫度,即可測控氣體流量。易度自主設計的傳感器可檢測到極微小流量下產(chǎn)生的壓力、壓差,因此易度質量流量...
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層流壓差流量計是測控氣體流量的儀表,是計量氣體流量的計量器具。質量流量計(MFM)和控制器(MFC)使用前需要預熱,這是熱式原理MFM/FMC產(chǎn)品的一個特點。為什么呢?這是由熱式原理測量方式所決定,其產(chǎn)品流道內需另外開一旁通微小的管道,通常叫毛細管,通過把毛細管加熱到一定溫度,再通過一定的公式來計算流量。剛開機的熱式產(chǎn)品因為毛細管溫度還未達到正常測量時需求的溫度,所以需要在管道通氣后先加熱到預定溫度,才可以準確測量,這個加熱的過程就是預熱的過程,時間通常為5~30分鐘不等。從...
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極微小流量控制器的特點是靈敏度高、一致性強、性能穩(wěn)定、精度高,標準的精度誤差為±3%(即100毫升里的誤差在上下3毫升)定制精度在±2%。小型流量計分為霍爾式和光電式兩種,霍爾流量計是由霍爾元件、磁鐵組成的;光電流量計是利用光學原理檢測,內部不含磁鐵。需要注意的是:這兩種流量計內部都有葉輪,所以不適合檢測啤酒、氣泡水類的液體,因為當液體進入流量計內部時,葉輪轉動會產(chǎn)生很多氣泡,導致流量計精度降低。其原理如下:在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將...
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質量流量計1什么是質量流量計:質量流量計,英文MassFlowMeter(簡稱MFM),用來快速、精確測量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質量流量計主要應用于低壓、小流量的單一或混合氣體,低壓一般在1Mpa以下,最大可達3Mpa;流量范圍一般為:0.1sccm-5000slpm;單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等,要求相對干燥、純凈;混合氣體則需明確氣體種類和比例。2質量流量計可獲得哪些參數(shù):易度質量流流量計可精確獲得氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標況流量和累計流量五...
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多過程參數(shù)測量流量計使用單芯電纜測量,可同時測量磁定位、流量、溫度、壓力等四個參數(shù),可按用戶需求添加其他的測量參數(shù)。所謂多參數(shù)測量,即利用傳感元件從被測對象按不同物理現(xiàn)象感受到一個以上變量,使流量傳感(變送)器功能擴展。例如科里奧利質量流量計測量振動管頻率相位差,得到質量流量;測振動管諧振頻率得密度?;蛘咴诹髁總鞲衅骷恿硪粋鞲性ɑ騻鞲衅鳎y量另一個變量,擴展功能或補償另一個變量受其他量的影響,提高測量精度等性能。儀器組成:儀器包括地面和地下兩個部分:1、地面為多參數(shù)直讀流...